工控產（chǎn）品

【產品名稱】韓國AIK AP CTC-B 等離子氣體控製器（Plasma Utility Box / Gas Panel）
【產品型號】AP-CTC-B（Serial No: AP-DIEHARD-UT-U223）
【品牌】AI Korea (AIK) —— 韓國知名半（bàn）導體零部件供應商
【核心功能】N2（氮氣（qì））與CDA（潔淨幹燥空氣）壓力調節與數字監控

【產品詳（xiáng）情】
本品為AI Korea生產的AP-CTC-B型等（děng）離子氣體分配箱，是半（bàn）導體幹（gàn）法刻蝕（Dry Etch）或沉積設備中的關鍵氣路控製單元（yuán）。設備采用工業級設計，前麵板配備高精度數字壓力表，可實時監控氣體壓力，確保工藝穩定性。

【技術參數與接口】

• 顯示方式：雙路數字壓力顯示（N2 Pressure / CDA Pressure），讀數清晰直觀。

• 調節方式（shì）：配備N2 Adj. 和 CDA Adj. 旋鈕，可精細（xì）調節氣體輸（shū）出壓力（lì）。

• 控製接口：

• I/O接口（DB25針（zhēn））：用於設備間信號通訊與聯鎖。

• P/S接口（DB25針）：電源與狀態信號。

• MFC接口（DB9針）：連接（jiē）質量流量計（Mass Flow Controller），實現氣體流量閉環控製。

• 氣路接（jiē）口：Proc Gas（工藝氣體）、CDA（潔淨氣）、N2（氮氣）進口，標配卡套接頭。

• 電源：標準工業電源接口（圖片顯（xiǎn）示（shì）已連接（jiē））。

• 外（wài）觀：藍（lán）色前麵板，銀色金屬機箱，機架式（shì）或台麵式安裝。

【使用狀態與優勢】

• 來源：實驗室/產線退役設備，實物拍（pāi）攝（shè），成色如（rú）圖（功能完好，表麵有正常使（shǐ）用痕跡）。

• 應用場景：

• 作為ICP/CCP刻蝕機的氣路控製模塊（kuài）；

• 用於PVD/CVD設備的背底真空控製（CDA）；

• 作為（wéi）實驗室氣路係統的二級分配箱；

• 維修備件：替換老舊的氣體控製麵板（bǎn）。

• 優勢：相比國產替代件，AIK原廠件兼容性更（gèng）好，接口定義標準，帶數字顯示（shì）便於排查氣路故障。

【售後與服務】

• 現貨供（gòng）應，支持通（tōng）電測試發貨。

• 提供實物細節視頻確認。

• 適用於高校（xiào）科研、設備維修商、二手設備翻新集成商。