工控維修

一、旋塗儀概（gài）述

旋塗（tú）儀是一種廣泛（fàn）應（yīng）用於實驗室和工業生產中的設備，主要用於將樣品溶液均勻地塗覆在（zài）基板表麵。常見於薄（báo）膜製作、溶膠凝膠實驗等領域，其（qí）操作簡便、效（xiào）率高，是材料科學和微電子技術中不可或缺的工具。

二、旋塗儀原理

旋塗儀的工作原理基於離心力的作用。當基板被固定在高速旋（xuán）轉的平台上時，滴加在基板上的樣品溶液會在離心力的作用下迅（xùn）速鋪展（zhǎn）開來，形成均勻的薄膜。勻膠（jiāo）旋塗儀通過控製旋轉速度、旋轉時間和滴液量等參數，可以精確調節薄膜的厚（hòu）度和均勻（yún）性。

三、旋塗儀（yí）的使用方法

旋塗儀（yí）的使用大（dà）致可以（yǐ）分為以下幾個步驟：

1. 準備樣品溶液：將待（dài）塗覆的樣（yàng）品（pǐn）溶解在適當的溶劑中，製備成一定濃度的溶液。

2. 安裝基板：選擇適合尺寸（cùn）的吸盤，將其固定在旋轉台上，確保基板位於吸盤正中央。

3. 設置參數：根據實驗需求，設定旋塗（tú）儀的旋轉速度（dù）和旋轉時間。通（tōng）常分為兩個步驟，第一步用於初步鋪展溶液，第二步則用於細化薄膜厚度。

   
   

4. 滴加樣品：在基板中心位置滴加（jiā）適量（liàng）的樣品溶液（yè），並迅速蓋上防護蓋以防意外濺出（chū）。

5. 啟動旋塗：確認參數設（shè）置無誤後，啟動旋塗儀，樣品溶液將在離心力作用下均（jun1）勻塗覆（fù）在（zài）基板上。

6. 幹（gàn）燥處理（lǐ）：旋塗完成後（hòu），將基板移出旋塗儀，進行幹燥處理（lǐ），如使用烘箱或離心（xīn）幹燥等方法，使樣品在基板（bǎn）上幹（gàn）燥固化。

7. 關機與清理：關閉旋塗儀，清理旋轉台和吸盤上（shàng）的（de）殘留物，保持設備幹淨幹燥。

四、旋塗儀的（de）常（cháng）見故障及維修方法

1. 基材汙染：

• 現象：旋塗後（hòu）的薄膜出（chū）現雜質或不均勻。

• 維修方（fāng）法：徹底清潔基材和旋塗儀，使用（yòng）丙酮等溶劑去除殘留物，確保操作（zuò）環境無塵。



2. 旋轉台故障：

• 現象：旋轉台無法（fǎ）啟動或轉速不穩定。

• 維修方法：檢查電源線是否（fǒu）連接良好，檢查旋轉台電機是否損壞，必要時更換電機或維修電路板（bǎn）。



3. 滴液不均勻：

• 現（xiàn）象：旋塗後的薄膜（mó）厚度不一。

• 維修方法：檢查滴液（yè）係（xì）統是否堵塞，調整滴液量和滴液位置，確保每次滴液（yè）量一致且（qiě）準確滴在基（jī）板中心。

4. 機械部（bù）件磨損：

• 現象：旋塗儀運行（háng）噪音大，旋轉不平穩。

• 維修方法：定期潤滑機（jī）械部件，檢查並更換（huàn）磨損的零件，如軸承、齒輪等。

5. 控製係統故障（zhàng）：

• 現象：無法設置參數或參數設置無效。

• 維修方法：檢查控製係統電路（lù）板（bǎn）是否（fǒu）損壞，重新校準傳（chuán）感器和控（kòng）製器，必要時更換電路（lù）板或升級軟件。

五、總結

旋塗儀（yí）作為一種（zhǒng）高效、精確的塗覆設備，在材料科學和微（wēi）電子技術領域發揮著重要作用（yòng）。了解其工作原理、掌握正確的（de）使用方法、及時發（fā）現（xiàn）並解決常見故（gù）障，對於保證實驗（yàn）效果和延長設備壽命具有重要意（yì）義。

六、容（róng）濟機電維修過的旋（xuán）塗儀品牌和型號

   1、 Laurell Technologies Corporation

（1）WS-400B係列：WS-400B-6NPP-LITE，WS-400B-6NPP-LITE-S，

         WS-400B-6NPP-LITE-6K，WS-400B-6NPP-LITE-8K

（2）WS-650係列：WS-650-23，WS-650-23NPP，WS-650-8B，WS-650-8B-6K

   2、SÜSS MicroTec

（1）LabSpin係列：LabSpin 6，LabSpin 8

   3、Specialty Coating Systems (SCS)

（1）P6700係（xì）列：P6700，P6708

   4、Chemat Technology

（1）KW-4A: 精密旋塗儀

（2）KW-4B: 精密旋塗儀

   5、Ossila

（1）Spin Coater係列：Ossila Spin Coater

   6、Spin Coating by Integrated Technologies

（1）VTC-100係列：VTC-100

（2）VTC-200係列：VTC-200

   7、Delta Scientific Equipment

（1）Spin150係列：Spin150

   8、APT GmbH

（1）Spin150: 高精度旋塗儀

   9、Future Digital Scientific

（1）WS-650Mz-23NPPB: 精密旋塗儀（yí）

（2）WS-650-23NPP-LITE: 精密旋（xuán）塗儀

   10、Holmarc Opto-Mechatronics

（1）HO-TH-05: 精密旋塗儀

（2）HO-TH-06: 精密旋（xuán）塗儀

   11、Midas System

（1）Midas Spin Coater: 高精度旋塗儀（yí）

   12、Brewer Science

（1）Cee 200X: 精密旋塗儀

（2）Cee 300X: 精密旋塗儀

   13、POLOS by SPS-Europe

（1）POLOS 200: 精密旋塗儀

（2）POLOS 400: 精密旋塗儀

   14、EV Group (EVG)

（1）EVG150: 半導體製造用旋塗儀

   15、Tokyo Ohka Kogyo (TOK)

（1）SSP-300: 高精度（dù）旋塗儀

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