工控產品（pǐn）

本產品為AXCELIS 離子注入設備專用靜電吸盤（Electrostatic Chuck, ESC），部件號 539206，來源於半導體產線設備拆機，整體成色良好，功能正常，表麵存（cún）在正常使用痕跡，不影響實際使用與真空吸附性能。

靜電吸盤是離子注入機（jī）核心工藝部件之一，用於在高真空、高能離子束環境下穩定吸附並固定晶圓（Wafer），確保注入過程中的位置精度、熱傳導（dǎo）及工藝一致性。該型號廣泛應用於 AXCELIS 離子（zǐ）注入係統，適（shì）合設備維護、更換及備件庫存。

產（chǎn）品（pǐn）特（tè）點包括：

• 原裝工業級半導體部件，非仿製品（pǐn）

• 適用於高真空（kōng）、離子注入工況

• 圓形（xíng）結構，精密加（jiā）工，同心度高

• 表麵溝槽結構有助（zhù）於晶圓熱管理

• 適合維修、更（gèng）換或產線備件用途

適用客戶群體包括：
半導體晶圓廠、設備維護商、離子注入設備集成商、科研機（jī）構及真（zhēn）空係統工程團隊。