愛德華（Edwards）真空泵EPX係列手冊的使用（yòng）指（zhǐ）南

引言

愛德華（Edwards）是真（zhēn）空技術領域的全球領先品牌，其EPX係列（liè）真（zhēn）空泵以獨特的設計和卓越（yuè）性能在眾多行業中廣受認可。EPX係列是一種高真空初級泵，結合（hé）了再生泵和Holweck泵的優點，能夠從大氣壓泵至極限真空（低至1 x 10^-4 mbar或1 x 10^-5 mbar，具體取決於型號）。這一創新設計使其在需（xū）要高真空度的應用中（zhōng）表現出色（sè），同時減少了對額外高真空泵（如渦輪分子泵（bèng））的（de）需求。

在現代工（gōng）業中，真（zhēn）空泵廣泛應用於半導體製造、真空鍍膜、分析儀器、製藥和（hé）光電子等領域（yù）。EPX係列（liè）以其高效、清潔和可靠的性能（néng），成為許多行業的首選設備。本文將詳細介紹EPX係列真空泵的性能特點、使用場合、操作（zuò）流程、使用（yòng）細節以及故障排除方法，為用戶提供一份全麵而實用的使用指南。

1. 性能特點

EPX係列真空泵的性能特點使其在高真空應用中（zhōng）表現（xiàn）卓（zhuó）越，以下是其主要技術規格：

• 泵速（sù）與真空度：EPX180型號泵速為175 m³/h，EPX500型號為500 m³/h。所有型號均（jun1）能達到<1 x 10^-4 mbar，EPX500通過額（é）外的螺旋轉子階段可達1 x 10^-5 mbar。

• 冷卻方式：采用水冷卻係統，確保低環境熱負載，適（shì）合潔淨室環（huán）境。

• 清潔度：泵（bèng）腔內無油（yóu）無（wú）脂，杜絕油回遷（qiān），適合高清潔度要求（qiú）的工藝。

• 氮氣清洗：N型號（EPX180NE和EPX500NE）配備氮氣清洗功能，可處理蒸氣和低濃度（dù）腐蝕性氣體及顆粒。

• 緊湊設計：重量約45-48 kg，尺寸小巧（qiǎo），優（yōu）於傳統渦輪分子泵與初級（jí）泵組合。

• 低噪音與振動：噪音水平<56 dB(A)，進氣法蘭振動<1.3 mm/s，適合安靜環境。

• 電源效率：支持200/208/400V三相電源，極限真空功率1.4-1.6 kW，最（zuì）大功（gōng）率3.0 kW。

這些特點使EPX係列泵在需要高真空、低（dī）汙染和高可靠性的應用中表現優異。

2. 使用場合

EPX係（xì）列真空泵（bèng）適（shì）用於多（duō）種高要求場景，包括但不（bú）限於：

• 高（gāo）真空應用：在需要（yào）比傳統初級泵更（gèng）高真空度的工藝中（zhōng），EPX泵可單獨（dú）使用，替代渦輪分子泵與初級泵組合，降低係統複雜（zá）性和成本。

• 頻繁壓力循環：適合需要從大氣壓快速泵至低（dī）壓的工（gōng）藝，如半導（dǎo）體製造中的（de）負載鎖（suǒ）定、真空塗層或分析儀器。

• 高清潔度要（yào）求：無油設計使（shǐ）其成為製藥、電子和光電子行業的理想選擇，確保係統無汙染。

• 腐蝕性氣體處理（lǐ）：N型號的氮氣清洗（xǐ）功（gōng）能使其能處理蒸氣和低濃度腐蝕性（xìng）氣體，適用於輕度腐蝕性工藝。

EPX係列泵的（de）靈活性和高效性（xìng）使其在半導體、科研和工業（yè）生產中具有廣泛應用前景。

3. 操作（zuò）流程

正確操作EPX係列真（zhēn）空泵是（shì）確保其性能和安全的關鍵。以（yǐ）下是詳（xiáng）細的操作步驟：

3.1 準備與安裝

• 安裝位置：在連接電源前，確保泵已正確安裝在（zài）真空係統中，以避免（miǎn）意外啟動導致傷害或設備損壞。

• 進氣保護：切勿移除進氣網罩或在進氣口暴露時運行泵。若涉及（jí）危險物質，泵必須與大氣和工藝係統隔離（lí）。

• 管道連（lián）接：使用柔性連接將泵進氣口與工藝係統連接，減少振動和應力。管道應盡量短，內徑不小於泵進氣口。安裝前移除進（jìn）氣法蘭保護蓋，使用Edwards centering O-ring和爪形夾具密封。

3.2 連接

• 冷卻（què）水：通過客戶指定水連接器（參（cān）考手（shǒu）冊圖2，項目4和9）連接冷卻水供應（yīng）和回路管道。確保冷卻水符合環境（jìng）條件（濕度和溫度，參考手冊表5）。

• 電源：通過合適的保（bǎo）險/隔離器連接電源（yuán），使用保護地線螺栓（圖2，項目3）接地，符合當地電氣規範。

• 控製接口：通過Tool Interface Module (TIM)或End User Controller (EUC)連接外部控製設備。EPX L、N和（hé）NE係列使用EUC進行本地和網（wǎng）絡控製；EPX E係列（liè）可通過EUC或Pump Display Terminal (PDT)手動操作。

3.3 啟動（dòng）泵

• 使用EUC上的運行按鈕（圖7，項目1）啟動泵，運行LED（綠色）亮起表示泵正常（cháng）運（yùn）行。

• 對於EPX N係列，通（tōng）過（guò）標有“N2 Inlet”的（de）1/4英寸壓縮接頭，使用1/4英寸OD管供應氮氣（qì）清洗氣體（tǐ），確保流量穩定（參考手（shǒu）冊表10）。

3.4 監控與控製

• 狀態監控：通過前蓋LED監（jiān）控泵狀態（參考（kǎo）手冊表1和圖4）：

• 電源LED（綠色（sè））：表示主電源正常。

• 運行LED（綠色）：運行時常（cháng）亮，空（kōng）閑模式下閃爍。

• 警告LED（琥珀色，僅EPX N）：表示氮氣流量低。

• 報警LED（紅色）：表示因故障（zhàng）停機。

• 控製方式（shì）：通過EUC或PDT的菜單（Normal、Status、Control、Setup）進行狀態檢查、控製調整和參數（shù）設置。EUC顯示屏提供兩行16字符的（de）泵狀態信息。

3.5 停止泵（bèng）

• 使用EUC上的停（tíng）止按鈕（圖7，項目10）停止泵。

• 緊急情況（kuàng）下，連接至緊急停止電路，立即斷開電源，需單獨啟動或重置。

注意事項

• 確保泵正確接地，防止電氣事故。

• 檢查冷卻水供應是（shì）否符合要求，避免過熱（rè）。

• 對於EPX N係列，定期驗證氮氣清洗係統正常運行。

4. 使用細節

EPX係列真（zhēn）空泵的使用細節（jiē）涵蓋其操作範（fàn）圍、變體功（gōng）能和保護機製：

• 操作範圍：泵可在（zài）從大氣壓到極限真空的範圍內運行，泵腔內無潤滑或密封流體，確保係統清潔，無油回（huí）遷風險（xiǎn）。

• 變體（tǐ）與應用：

• EPX L：用於清潔任務（如負載鎖定），通過EUC支持本地和網絡控（kòng）製。

• EPX N：配備氣體模塊，支持氮氣清洗，適用於稀釋（shì）工藝氣（qì）體的輕任務應用。

• EPX NE：輕工應用泵，支持網（wǎng）絡和（hé）本地控製（zhì）。

• EPX E：可通過（guò）EUC或PDT手動操作，適合網絡控製。

• 容量與配置：提供180 m³/h（EPX180LE/NE）和500 m³/h（EPX500LE/NE），電壓（yā）選項為200/208 V或400 V，水接頭選項為1/4、3/8、9/16英寸BSP或無快速連接。

• 冷卻（què）係統：集成（chéng）水冷卻電路（lù），適合潔淨室（shì）環境，避免風扇冷卻的（de）不便。

• 性能優（yōu）化：EPX Twin在1 bar至0.2 mbar間性能更佳，適合負載鎖定和快速循環應用（yòng）。

• 保護機製：配備熱斷開開關等傳感器，檢測過熱等故障時自動停機（jī）；EPX N型號的氮氣清（qīng）洗流量開關（設定為12 slm）監控（kòng）流量。

5. 故障排除（chú）

以下是EPX係列真空泵的常見故（gù）障及解決方法：

安全與維護

• 電氣安（ān）全：未接（jiē）地或電氣連接錯誤時禁止操作。泵內無用戶可維修部件，維修需由Edwards專（zhuān）業人員進行（háng），斷電後等待4分鍾再拆（chāi）除蓋（gài）子。

• 泵卡住：若泵卡住，使用（yòng）手套、眼鏡和麵罩，注意可能出現的硫酸鋁粉塵和硫黃味。

• 服務支持：聯係Edwards服務中心獲取維修、備件或配件，訂購時提供型號、序列號和部件信息。退貨需附帶完成的HS2汙染表格。

6. 結論

愛德華（huá）EPX係列真空泵以其卓越的性能、靈活的應用和可靠（kào）的操作，成為高真空應用的理想選擇。其無油設（shè）計、高效泵速和（hé）氮氣清洗功（gōng）能使（shǐ）其在半導體、製藥和科研領域表現出色。通過遵循正（zhèng）確的操作流程（chéng）、定期監控和及時維護，用（yòng）戶可確（què）保泵的高（gāo）效運行。