工控維修

一、真空計概述

真空計（jì），又稱真空表或真空規管，是一種專門用於測量氣體壓強或真空度的儀（yí）器。它通過測量封閉空間內（nèi）氣體分子運動產生的（de）壓力來間接反映真空度的高低。在（zài）科研和工業生產中，真（zhēn）空計被廣泛應用，用於精確控製（zhì）真空環境，確保實驗或生產過程的穩定性（xìng）和精確性。

二（èr）、真空計的原理

真空計的工作原理基於不同氣壓下（xià）氣（qì）體分子的物理效應變化。根據（jù）測量原理的不（bú）同，真空計主（zhǔ）要可分為三大類：利（lì）用（yòng）力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。

1. 利（lì）用力學性能的（de）真空計

• 波爾登（dēng）規（Bourdon Gauge）：利（lì）用細銅管在氣體壓力作用下的舒展現象，帶動杠杆和齒輪旋轉，使指針指示在不同刻度上，從而讀出氣壓值。

• 薄膜電容規：金屬膜片在不同壓力下變形，導致與電極之間的電容變化，通過（guò）測量電容變化量來推算氣壓值。

2. 利用氣體動力學效應的真空計

• 皮拉尼電阻規（Pirani Gauge）：利用電阻與溫度的關係，通（tōng）過測量熱（rè）絲在不同氣壓下保持的溫（wēn）度變化來推（tuī）算氣壓（yā）。

• 熱電偶規：與皮拉尼電阻規類似，但直接測量熱絲的溫度變化，而不是電阻變化。

3. 利用帶電粒子效應的真空計

• 熱陰極電離規：熱陰極發射電子，電離真空中（zhōng）的氣體分子，收集產（chǎn）生的離子電流來推算氣壓。

• 冷陰極電離規：利用磁控放電（diàn）電離氣體分子，收集離子電流（liú）進行氣壓測量。

三、真空計的使（shǐ）用方法

1. 選擇合適的真空計：根據（jù）測量需求選擇合適（shì）的真空計型號和量程。

2. 校（xiào）準真空計：在使用（yòng）前進行校準，確保測量結果的準（zhǔn）確性。

3. 連接真空計：將真空計（jì）連接（jiē）到被測設備或容器上，確保連接部位密封性良好。

4. 啟動測量：開啟被（bèi）測設備或容器（qì），待其達到穩定狀態後開啟真空計（jì）進行（háng）測量。

5. 讀取數據：穩定後讀取真空（kōng）計顯示的數據，注意數據的穩定性和準確性。

6. 結束測量：測量完畢後（hòu）關閉真（zhēn）空計和被測設備或容器（qì），妥善保管真空計。

四、真（zhēn）空計的故障及維修方法

1. 無法啟動

• 檢查電（diàn）源：確認真空計是否插好電源，插頭是否鬆動。

• 檢查保險（xiǎn）絲：查看保險絲是否燒壞，必要時更換。

• 檢查開關：確認開關位置正（zhèng）確，設置無誤。

2. 讀數不準確（què）

• 檢查連接口：確認連接口是否鬆動，連接是否緊密（mì）。

• 檢查量程設置：確認量（liàng）程（chéng）設置是否正確，避免（miǎn）超出測量範圍。

• 檢查傳感器：傳感（gǎn）器損（sǔn）壞可（kě）能導致讀數不準確，需更（gèng）換傳感器。



3. 讀數過高或過低

• 檢查氣體流量：氣體流量異常可能影響讀數，需檢查氣體流量是否正常。

• 檢（jiǎn）查真空（kōng）管質量：真空管質量不（bú）佳也可能導致讀數不準確，需更換真空管。

4. 漏（lòu）氣

• 檢查密封（fēng）性：確認真空計和真（zhēn）空管的密封性是否良好，必要時進行密封處理。

• 檢測（cè）隱藏漏氣：使用灌注氣體等方法檢測隱藏漏氣點，並進行修複。

5. 預防措施（shī）

• 定期檢（jiǎn）查：定期對真空計進行維護和檢查，確保其正常工（gōng）作。

• 保持清潔：保持真空計清潔，避免幹（gàn）擾測量結果。

• 安全操作：注意操（cāo）作安全，避免（miǎn）操作（zuò）不（bú）當導致設備損壞或安全事故。

五、總結

真空計作（zuò）為測量真空度或氣壓的（de）重要工具，在（zài）科研和工業生產中發（fā）揮著重要作用。了解其工作原理、掌（zhǎng）握（wò）正確的使用方（fāng）法以及處理（lǐ）常見故障的方法，對於確保（bǎo）測量（liàng）結果的（de）準確性和設備（bèi）的穩定運行至關重要。同時（shí），定期維護和（hé）檢查真空計也是保證其長期穩定（dìng）工作的關鍵。

六、91视频网址入口機電維修過的真空機品牌和型號（hào）、

   1、Inficon

（1）Sky CDG025D: Capacitance Diaphragm Gauge

（2）Sky CDG100D: Capacitance Diaphragm Gauge

（3）Sky CDG200D: Capacitance Diaphragm Gauge

（4）Skyview: Combination Pirani and Cold Cathode Gauge

   2、Edwards

（1）nEXT係列：nEXT730D，nEXT930D

（2）Active Pirani係列：APG100，APG200

（3）Active Inverted Magnetron係列：AIM-X，AIM-S

   3、Pfeiffer Vacuum

（1）ActiveLine係列：TPR 280，TPR 270

（2）DigiLine係（xì）列：DPG 102，DPG 109

（3）Compact係列：PCR 260，PCR 270

   4、MKS Instruments

（1）Granville-Phillips係（xì）列：370 Stabil-Ion，375 Convectron，390 Micro-Ion

（2）Baratron係列：627D，629A

（3）PDR係列：PDR2000

   5、Leybold

（1）Thermovac係（xì）列：TTR 91，TTR 101

（2）Ceravac係列：CTR 100，CTR 101

（3）Ionivac係列：ITR 90，ITR 91

   6、Agilent Technologies

（1）ConvecTorr: Convectron Gauge

（2）UHV Ionization Gauge: Ultrahigh Vacuum Gauge

（3）FRG-700: Full Range Gauge

   7、Teledyne Hastings

（1）DV-6: Thermocouple Vacuum Gauge

（2）HPM-2002: Digital Vacuum Gauge

（3）HVG-2020B: Digital Vacuum Gauge

   8、Brooks Instrument

（1）5866: Capacitance Manometer

（2）5850: Mass Flow Controller

（3）5863: Digital Pressure Gauge

   9、Kurt J. Lesker

（1）945係列：Inverted Magnetron Gauge

（2）350係列：Pirani Gauge

（3）354係列（liè）：Ionization Gauge

   10、ULVAC

（1）G-Tran係列：G-Tran ST1，G-Tran PT1

（2）SW-1係列：SW-1

（3）M-100係列：M-100

   11、InstruTech

（1）B-RAX 3000: Vacuum Gauge Controller

（2）CDG-500: Capacitance Diaphragm Gauge

（3）IGC100: Cold Cathode Gauge

   12、Thyracont

（1）Smartline係列：VSR，VSP

（2）Digitalline係列：VD8，VD12

（3）Analogline係列：VMA，VPA

   13、Agilent

（1）XGS-600: Gauge Controller

（2）FRG-720: Full Range Gauge

（3）UHV-24: Ultra High Vacuum Gauge

   14、Sens4

（1）VQM-83: Vacuum Quality Monitor

（2）VSM-32: Vacuum Sensor Module

   15、Dycor (AMETEK)

（1）Dycor Quadlink: Residual Gas Analyzer

（2）Dycor 1000: Vacuum Gauge

   91视频网址入口機電公司長（zhǎng）期維修真空計，擁有接近30年的維修經驗，可以（yǐ）快速（sù）搶修好各（gè）類儀器，另（lìng）外回收和銷售各類真（zhēn）空計，歡迎谘詢。