工控維修

  雙頻激光幹涉儀是一種基於外（wài）差幹涉原理的高精度測量儀器，它在單頻激光（guāng）幹涉（shè）儀的基礎上發（fā）展而（ér）來，通過利（lì）用兩個不（bú）同頻率的激光束進行幹涉測量，實現了（le）對位移、長度（dù）、角度等多種（zhǒng）物理量的高精（jīng）度測量。該儀器廣泛應用（yòng）於精密機械加（jiā）工、計量檢測、科學研究等領域，是提高設備（bèi）精度（dù）和檢測效率（lǜ）的重要（yào）工具。

一、雙頻激光幹涉儀的原理

  雙頻激光幹涉儀（yí）的工作原理基（jī）於塞（sāi）曼分裂效應和頻率牽引效應。在氦氖激光器上（shàng）施加一個約0.03特斯拉的軸向磁場（chǎng），使激光器產生兩個不同頻率（f1和f2）的左旋和右旋圓偏振光（guāng）。經過一係列的光學元件處理後，這兩個光束被分為參考光束和（hé）測量光束（shù）。當可動反射鏡移動時，由於多普勒效應，測量光束的頻率會發生變化（f2 ± Δf），而參考光束的頻率保持不變（biàn）。兩束光在光電探測器上發生幹涉，產（chǎn）生包（bāo）含頻率（lǜ）差Δf的電信號。通過計數頻率差的變化，可以計算出可動反射鏡（jìng）的位移量。

1. 激光源：雙頻激光幹涉儀（yí）使用一個激光器，產生兩束（shù）頻率不（bú）同（tóng）的激光。常用的（de）激光器包（bāo）括（kuò）氦氖激光器（qì）和半導體激光（guāng）器。

2. 光學分束：激光束經過分束器分成兩束光，一束作為參考光束，另（lìng）一束作為測量（liàng）光束（shù）。

3. 光路設計：參考光束經（jīng）過（guò）固定光路，測量光束經過可變光路。兩束（shù）光在幹涉儀中重新匯合，產生幹涉條紋（wén）。

4. 幹涉條紋：幹涉條（tiáo）紋的移動反映了測量光路長度（dù）的變化。通過分析幹涉條紋（wén）的變化，可（kě）以（yǐ）精確計算出被測量物體的位移或長度變化。

5. 信號處理：幹涉條紋信號經過光電探測器轉換為電信號，經（jīng）過（guò）信號處理後得到測量結果。

二、使用方法（fǎ）

1. 係統連接：通過通訊電纜將筆記本電腦與（yǔ）激光幹涉（shè）儀（yí）、環境補償單元及打印機等連接，並接通（tōng）電源（yuán）。

2. 激光預熱：閉（bì）合激光幹涉儀開關，使激光預熱約15～20分鍾，待激光穩定後（指（zhǐ）示燈變為綠色）再進行測量。

3. 軟件啟動：打開筆記本電腦（nǎo），啟動測量（liàng）軟件（jiàn），並進入相應的（de）測量子程序。

4. 光學（xué）鏡安裝（zhuāng）：將激光幹涉儀、反射鏡及分光鏡等光學元件固定在測量三腳架和機床的適當位置，並進行準直調整。

5. 目（mù）標值設定：根據（jù）測量要求設定（dìng）目標值，並編製數控測（cè）量程序。

6. 數據采集：啟動數據采集程序，進行自動或手動數據采集，並（bìng）監控測量數據（jù）

三、雙頻（pín）激光幹涉儀的常見故障和維（wéi）修（xiū）方法

1. 激光器故障：

• 故障現象：激（jī）光器（qì）不發光或激光強度不足。

• 維修方法：檢查激光器電（diàn）源和連接線，確保電源正常。必要時更換激光器。

2. 光路偏（piān）移：

• 故障現象：幹涉條紋不清（qīng）晰或消失。

• 維修方法：調整分束器和反射鏡（jìng）的位置（zhì），確保光路平（píng）行（háng）且光束匯合點準確（què）。

3. 光電探測器故障：

• 故障現象（xiàng）：信號不穩定或無信號輸出。

• 維修方法：檢查探測器電源和連接線，清潔探測器表麵，確保其正（zhèng）常工作。

4. 環境幹擾：

• 故障現象：測量結果波動較大或不準確。

• 維修方法：隔離環境振動和溫度變化，確保幹涉儀工作環境（jìng）穩（wěn）定。

5. 信號處理器故障：

• 故障現象：數據采集不穩（wěn）定或分（fèn）析結果錯誤（wù）。

• 維修方法：檢查信號處理器連接和軟件設置，必要時重裝或更（gèng）新軟（ruǎn）件。

五、注意事項（xiàng）與維護

1. 環境要求（qiú）：儀器應放置在幹燥、清潔和無振動的環境中（zhōng），避免潮濕和灰塵對光學部件的影響。

2. 移動與（yǔ）存放：移動（dòng）儀器時應握住底座，防止導軌變形；光學部件不使用時應存放在清潔（jié）幹燥的容器中。

3. 清潔與潤滑：盡量避免擦拭鏡子和分光鏡等（děng）光學部件，必要時（shí）用（yòng）科學的方（fāng）法清洗；傳動部件應定期潤滑，保持良好的工作狀態。

4. 使用（yòng）規（guī）範：使用時要避免強行轉動、硬拉等不當操作，對每（měi）個（gè）調節部（bù）件（jiàn）施加（jiā）適（shì）當的力。

六、容（róng）濟機電公（gōng）司維（wéi）修過的雙頻激（jī）光幹涉儀品牌和型號

1、Renishaw

（1）XL-80: 高精度激光幹涉儀係（xì）統

（2）HS20: 雙頻激（jī）光幹（gàn）涉儀，用於大（dà）範圍位置測量

2、Keysight Technologies (formerly Agilent Technologies)

（1）5519A/B: 雙頻激光幹涉儀（yí），用於高精度定位和測量

（2）5530: 激光幹涉（shè）儀係統（tǒng），支持多種測量應（yīng）用

3、Zygo Corporation

（1）ZMI 4000 係列: 雙頻激光幹涉儀，用於高精度位（wèi）置和速度測量（liàng），

ZMI 4500，ZMI 4100

（2）ZMI 2000 係列: 高性能雙頻激光幹涉儀，

ZMI 2400，ZMI 2002

4、Sioses Messtechnik

（1）SP 2000 係列: 雙頻（pín）激光幹涉儀係統，用於精密長度和角度測量，

SP 2000，SP 2000 TR

（2）SP 5000 係列: 高（gāo）分辨率雙頻激光幹涉儀，

SP 5000 NG，SP 5000 TR

5、Hamar Laser Instruments

（1）L-730 係列: 雙頻激光幹涉儀，用於（yú）機器（qì）校準和對準，

L-730，L-740，

（2）L-750 係列: 高精度雙頻激光幹涉儀，

L-750

6、API (Automated Precision Inc.)

（1）XD 係列: 高精度激光幹涉儀係統，XD6，XD8

7、Renishaw/Anorad (合作品牌)

（1）RLE 係（xì）列: 高性能激光幹涉（shè）儀，RLE10，RLE20

8、Mahr Metrology

（1）MarForm MFU 係列: 高精度激光幹涉儀，用於形（xíng）狀測量和表麵輪廓測量

MFU 100，MFU 200

9、Mitutoyo

（1）Laser 20: 雙頻激光幹涉儀，用於高精度位置測量

（2）Laser 30: 高性能雙頻激光幹涉儀

10、Status Pro

（1）EZ-EL 係列: 高精度激光幹涉儀（yí）係統

EZ-EL-A，EZ-EL-B

11、東京精密（Tokyo Seimitsu）：LV-50

12、馬波斯（Marposs）：BLU 係列，

                    BLU LT: 用於長度和位移測量

                    BLU LI: 用於直線性和（hé）角度測量

   91视频网址入口機電（diàn）公司長期維修雙頻激（jī）光幹涉儀，擁有接近30年的維修經驗，可以快速（sù）搶修好各（gè）類儀器，另外（wài）回（huí）收和銷售各類二手雙頻激（jī）光幹（gàn）涉儀，歡迎谘詢。