工控維修

  掃描電鏡（SEM）是一種利用電子束掃描樣品表麵，通過探測電子與樣品相（xiàng）互作用（yòng）產生的信號來觀察和分析樣品表麵形貌、結構與組成（chéng）的（de）設備。

一、掃描電鏡的原理

1. 電子光學係（xì）統：包括電子（zǐ）槍（qiāng）、電磁透鏡、掃描線圈和（hé）樣品室。電子槍（qiāng）產生高能（néng）電子束，經過電磁透鏡聚焦（jiāo）後，在樣品表麵進行光柵狀掃描。

2. 信號探測與處理：電子束與樣品相互作用產生多種信號，如二次電子、背散射電子、特（tè）征X射線等。這些（xiē）信號被探測器接收並轉換為電信號，再通過放大和顯（xiǎn）示（shì）係統形成圖像。

3. 真空係統：為了保證電子束的穩定性和防止樣品汙染，掃描（miáo）電鏡需要在高真空環境下工作。真空係（xì）統包括真空泵和真空柱，用於（yú）在樣品室內產生並維持高真空。

二（èr）、掃描電鏡的使用方（fāng）法

1. 開機準備：檢查電源、冷卻水、真（zhēn）空泵等設（shè）備連接（jiē）是（shì）否（fǒu）正常，確保工作環境清潔無塵。

2. 樣品製備：根據樣品類型和觀察需求，進行清潔、切割、鍍金（jīn）屬膜等（děng）處理，確保樣品表麵平整、無汙染物。

3. 安（ān）裝（zhuāng）樣品：將製（zhì）備好的（de）樣品放置在樣品台上，並安（ān）裝到掃描電鏡的樣（yàng）品室中。

4. 抽真空：使用真空泵抽取樣品室內的空氣，達到所需的真空度。

1. 設備啟動（dòng）與參數設（shè）置：啟動掃描（miáo）電鏡設備，打開相關軟件界麵，設置加速電壓（yā）、放大（dà）倍數、掃描速度等（děng）參（cān）數。

2. 對焦與校準：調節物鏡和透鏡，對（duì）樣（yàng）品進（jìn）行對焦，並進行必要的校準（zhǔn）操作。

3. 觀察與拍攝（shè）：通過軟（ruǎn）件界麵上的縮放和導航功能，調整圖（tú）像（xiàng）細節和位置，進行觀察和拍（pāi）攝。

4. 數據分析與保存：對觀（guān）察到的圖像進行數據分析，如（rú）測量（liàng）尺寸、計算麵積等，並保存結果。

   
   

三、常見的故障情況及維修方法

1. 顯示屏或圖像閃爍或模糊

• 原因：分辨率（lǜ）過低、掃描速度過快、電源問題或連接線鬆動。

• 解決方法：調整分辨率、減慢掃描速度、檢查電源（yuán）線和連接線是（shì）否正常連（lián）接。

2. 設備無法啟動

• 原因：電源控製部分故障（zhàng）、保險絲燒壞、開關電源故障。

• 解決方法：檢查電源控製部分、更換保險（xiǎn）絲、更（gèng）換或（huò）維修開關電源。

  
  

3. 燈絲無法開啟

• 原因：高壓箱未識別、開關電源故障。

• 解決方法（fǎ）：檢查高壓箱光纖和電源（yuán）輸入，更換或維修開關電源。

4. 圖像（xiàng）不清晰

• 原因：對比度設置不正（zhèng）確、樣品表麵不幹淨、自動對焦功能問題。

• 解決方（fāng）法（fǎ）：調整對比度設置（zhì）、清潔樣品表麵、檢查並修複自動對焦功能。

5. 軟件衝突或係統不（bú）兼容

• 原因：計算機係統不兼容或軟件版本衝突。

• 解（jiě）決方法：更（gèng）新操作係統和軟件（jiàn）版本，或選擇兼容性更好的（de）軟（ruǎn）件（jiàn）。

  
  

四、注意事項

• 環境清潔（jié）：確保操作環（huán）境（jìng）無塵（chén）、無震動、無電磁幹擾。

• 樣品製備精（jīng）細：樣品的製備質量直接影響觀察結果。

• 參數設置合理：根據樣（yàng）品（pǐn）性質和觀察需求合理設置參數。

• 謹慎操作：輕拿輕放，避免（miǎn）對設備和樣品（pǐn）造成損壞，遵循操作規程和安全要求。

  綜上所述，掃描電鏡是一種複雜（zá）的精密儀器（qì），其使用（yòng）和維（wéi）護需要專業知識和經驗。在出現故障時，應冷靜分析、逐級檢（jiǎn）查，並與91视频网址入口機電（diàn）工（gōng）程師（shī）溝通交流，以快速準確地解決問題。

五、91视频网址入口機電公司維（wéi）修（xiū）過的掃描電鏡品牌和型號

   1.Thermo Fisher Scientific (FEI)：

  （1）Helioses G4 UX DualBeam

  （2）Helioses G4 CX DualBeam

  （3）Apreo 2 SEM

  （4）Verioses G4 UC

  （5）Prisma E SEM

  （6）Quattro S SEM

  （7）Nova NanoSEM 450

  （8）Nova NanoSEM 650

  （9）Magellan 400 XHR

  （10）Magellan 400L XHR,

  （11）Apreo SEM,Talos F200X

  2.JEOL：

  （1）JSM-7900F

  （2）JSM-7800F,

  （3）JSM-7610FPlus,

  （4）JSM-7610F

  （5） JSM-7200F

  （6）JSM-IT800

  （7）JSM-IT500HR

  （8）JSM-IT300

  （9）JSM-7800F Prime,

  （10）JSM-IT700HR

  3.Hitachi High-Tech:

  （1）SU9000

  （2）SU8700

  （3）SU5000

  （4）Regulus 8220

  （5）Regulus 8100

  （6）TM4000Plus

  （7）SU3500

  （8）SU3800,

  （9）S-4800

  （10）S-5500

  4.Carl Zeiss:

  （1）GeminiSEM 500

  （2）GeminiSEM 300

  （3）Sigma 500

  （4）Sigma 300

  （5）EVO 15

  （6）EVO LS25

  （7） Crossbeam 550

  （8）Crossbeam 340

  （9）Merlin

  （10）Supra 55VP

  （11）Ultra Plus

  （12）AURIGA CrossBeam

  5.Tescan: 

  （1）Mira3

  （2） Mira4

  （3）Vega3

  （4）Vega4

  （5）Lyra3 FIB-SEM

  （6）Solaris X

  （7） Amber X

  （8）Clara

  （9）MAIA3

  （10）FERA3

  （11）Tima

  6.Phenom-World (Thermo Fisher Scientific)

  （1）Phenom Pharos

  （2）Phenom ProX

  （3）Phenom XL G2

  （4）Phenom Pure

  （5）Phenom Pro

  （6）Phenom XL

  （7） Phenom GSR

  （8）Phenom World SEM

  7.COXEM

  （1）EM-30AX Plus

  （2）CX-200Plus

  （3）EM-30N

  （4）EM-30AX

  （5）CX-100Plus

  （6）EM-40

  （7）CX-3000

  8.Nanoscience Instruments

  （1）Apreo S

  （2）Verioses G4

  （3）Thermo Scientific Apreo S LoVac

  （4）Thermo Scientific Apreo VS SEM

  9.Rigaku

  （1）nano3DX,

  （2）XtaLAB Synergy-R

  （3）XtaLAB Synergy-S

  10.Aspex Corporation

  （1）Explorer,

  （2）Personal SEM

  （3）Aspex PSEM 2000

  （4）Aspex PSEM eXpress

  11.Leica Microsystems

  （1）EM ACE600

  （2）EM ACE900

  （3）EM TIC 3X

  （4）EM VCT100

  12.Nikon

  （1）Eclipse LV150N

  （2）Eclipse LV100ND

  13.Bruker

  （1）ContourGT

  （2）Contour Elite

  （3）JPK NanoWizar

   91视频网址入口機電公司長期維修掃描電鏡，擁（yōng）有接近30年的維修經驗，可以快速搶修好各類儀器，另外回收（shōu）和銷售各類二手掃描電鏡，歡（huān）迎谘詢。